High Speed DRAM의 Speed 특성 향상을 위한 EDS Laser_Repair Condition 최적화 방안 연구

High Speed DRAM의 Speed 특성 향상을 위한 EDS Laser_Repair Condition 최적화 방안 연구

ㆍ 저자명: 김이순,한영신,이칠기,Kim. Li-Soon,Han. Young-Shin,Lee. Chil-Gee
ㆍ 간행물명: 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체
ㆍ 권/호정보: 2002년|39권 11호|pp.1-6 (6 pages)
ㆍ 발행정보: 대한전자공학회
ㆍ 파일정보: 정기간행물|
PDF텍스트
ㆍ 주제분야: 기타

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서지반출

기타언어초록

본 논문에서는 High speed DRAM의 speed 특성을 향상시키기 위한 Laser_Repair Condition 최적화의 한 방안을 구현하였다. 구현 방법은 먼저 Wafer내의 개별 Die별 DC Generator level을 확인하고 최약 DC Generator를 파악한 후 AC parameter의 margin을 check하고 AC parameter의 특성을 개선시킬 수 있는 DC Generator level을 forcing하여 test하여 개선 효과를 곧장 확인하였고 그에 대한 Fuse cutting inform을 생성하여 Laser_Repair 공정에서 적용하여 Post_Laser test시 개선 효과를 확인하였다.

기타언어초록

This study is about optimization of Laser Repair Condition in EDS Line to improve AC and DC characteristic of high speed DRAM. The margin of AC parameter can be improved by forcing the proper DC generator levels and also improved by cutting the optional fuse about characteristics.

키워드

DRAM EDS AC DC

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