- LiNbO3의 스트레인광학형 광도파로를 이용한 세기 광 변조기와 광 파워 분배기
- ㆍ 저자명
- 정홍식
- ㆍ 간행물명
- 한국광학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|14권 1호|pp.38-43 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국광학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
$LiNbO_3$의 스트레인광학효과와 ~l.4$mu extrm{m}$ 두께 이상으로 증착된 Mo(molybdenum)/Pt(platinum) 금속 박막으로부터 발생되는 압축스트레인을 이용하여 채널 광도파로 제작 공정을 개발하였다. 제작된 광도파로는 단일모드로 관찰되었으며, 삽입 손실이 TE, TM 입사 편광모드 각각에 대해서 6.2, 7.7 dB/cm로 측정되었다. 전극 길이와 간격이 11 mm, 21 $mu extrm{m}$인 광변조기를 스트레인광학형 광도파로 구조를 이용하여 제작하였으며, $V_{pi}$= 16.1 V와 100% 변조 깊이가 1.55$mu extrm{m}$ 파장 영역에서 측정되었다. 또한 1$ imes$2광 파워 분리기를 제작한 결과 0.63$mu extrm{m}$ 파장 영역에서 on/off 특성이 $pm$25V에서 관찰되었다.
Fabrication process of strain-induced channel waveguides in $LiNbO_3$ was developed using strain-optic effect and compressional strain due to ~1.4 $mu extrm{m}$ surface Mo/Pt metal film. Characterization of the channel waveguides revealed a single transverse and depth mode in both TE and TM polarizations. Measurements showed total insertion loss of 6.2 and 7.7 ㏈/cm for TM and TE polarizations. respectively. Electro-optic intensity modulators with 11 mm long electrode length and 21 $mu extrm{m}$ electrode gap at $lambda$ = 1.15 ${mu}{ extrm}{m}$have been produced in $LiNbO_3$ substrates using strain-induced channel waveguides. Modulation depth of 100% at $pi$-radian voltage of 16.1V has been demonstrated. Also, 1$ imes$2 on/off power splitters at $lambda$ = 0.63 $mu extrm{m}$ have been produced using strain-induced channel waveguides. On/off voltage of $pm$ 25V has been demonstrated.