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Conformal $Al_2$O$_3$ Nanocoating of Semiconductor Nanowires by Atomic Layer Deposition
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  • Conformal $Al_2$O$_3$ Nanocoating of Semiconductor Nanowires by Atomic Layer Deposition
  • Conformal $Al_2$O$_3$ Nanocoating of Semiconductor Nanowires by Atomic Layer Deposition
저자명
Hwang. Joo-Won,Min. Byung-Don,Kim. Sang-Sig
간행물명
KIEE international transactions on electrophysics and applications
권/호정보
2003년|2호|pp.66-69 (4 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Various semiconductor nanowires such as GaN, GaP, InP, Si$_3$N$_4$, SiO$_2$/Si, and SiC were coated conformally with aluminum oxide (Al$_2$O$_3$) layers by atomic layer deposition (ALD) using trimethylaluminum (TMA) and distilled water ($H_2O$) at a temperature of 20$0^{circ}C$. Transmission electron microscopy (TEM) revealed that A1203 cylindrical shells conformally coat the semiconductor nanowires. This study suggests that the ALD of $Al_2$O$_3$ on nanowires is a promising method for preparing cylindrical dielectric shells for coaxially gated nanowire field-effect transistors.