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계단식 정전빗살구조물을 이용한 수평구동형 미소공진기의 주파수 조정
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  • 계단식 정전빗살구조물을 이용한 수평구동형 미소공진기의 주파수 조정
저자명
이기방,서영호,조영호,Lee. Ki-Bang,Seo. Young-Ho,Cho. Young-Ho
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
권/호정보
2003년|27권 8호|pp.1259-1265 (7 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We present a new post-fabrication frequency tuning method for laterally driven electrostatic microresonators using a DC-biased electrostatic comb array of linearly varied finger-length. The electrostatic tuning force and the equivalent stiffness, adjusted by the DC-biased tuning-comb array, have been formulated as functions of geometry and DC tuning voltage. A set of frequency-turnable microresonators has been designed and fabricated by 4-mask surface-micromachining process. The resonant frequency of the microfabricated microresonator has been measured for a varying tuning voltage at the reduced pressure of 1 torr. The maximum 3.3% reduction of the resonant frequency is achieved at the tuning voltage increase of 20V.