- Fabrication of Micro/Nano-patterns using MC-SPL(Mechano-Chemical Scanning Probe Lithography) Process
- Fabrication of Micro/Nano-patterns using MC-SPL(Mechano-Chemical Scanning Probe Lithography) Process
- ㆍ 저자명
- Sung. In-Ha,Kim. Dae-Eun
- ㆍ 간행물명
- International journal of the Korean society of precision engineering
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|4권 5호|pp.22-26 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국정밀공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
