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Filtered Plasma Deposition and MEVVA Ion Implantation
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  • Filtered Plasma Deposition and MEVVA Ion Implantation
  • Filtered Plasma Deposition and MEVVA Ion Implantation
저자명
Liu. A.D.,Zhang. H.X.,Zhang. T.H.
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
2003년|12권 1호|pp.46-48 (3 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The modification of metal surface by ion implantation with MEVVA ion implanter and thin film deposition with filtered vacuum arc plasma device is introduced in this paper. The combination of ion implantation and thin film deposition is proved as a better method to improve properties of metal surface.