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MBE법으로 InP 기판위에 성장한 InAlAs 에피층의 특성에 대한 성장온도의 효과
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  • MBE법으로 InP 기판위에 성장한 InAlAs 에피층의 특성에 대한 성장온도의 효과
저자명
우용득,김문덕
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
2003년|12권 4호|pp.251-256 (6 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

분자선에피탁시법을 이용하여 InP(001) 기판위에 성장한 InAlAs 에피층의 특성에 대한 성장온도 (370-$430 ^{circ}C$)의 효과를 Normalski 현미경, 원자력현미경 (AFM), 광발광 (PL), 이중결정 x-선 회절법 (DCXRD)을 사용하여 분석하였다. InAlAs 에피층의 표면형상, 구조적, 광학적 특성은 370-$400^{circ}C$에서 성장한 시료에서는 성장온도의 증가로 향상되지만, $430 ^{circ}C$로 성장한 시료에서는 특성이 나빠졌다. 결과적으로 $400 ^{circ}C$로 성장한 InAlAs 에피층의 특성이 가장 우수하였다.

기타언어초록

Indium aluminum arsenide(InAlAs) was grown by molecular beam epitaxy on (001) indium phosphide (InP) substrate and the effects of growth temperature on the properties of epitaxial layers were studied. In the temperature range of 370-$400 ^{circ}C$, we observed that the surface morphology, optical quality and structural quality of InAlAs epilayers were improved as growth temperature increased. However, the InAlAs epilavers grown at $430 ^{circ}C$ have the bad surface morphology and show the same trends as structural and epical quality. As a result of these measurements, it is suggested that the InAlAs epilayers of very good properties can be grown at $400 ^{circ}C$.