- Development of High Flux Metal Ion Plasma Source for the Ion Implantation and Deposition
- Development of High Flux Metal Ion Plasma Source for the Ion Implantation and Deposition
- ㆍ 저자명
- Kim. Do-Yun,Lee. Eui-Wan
- ㆍ 간행물명
- The Journal of Korean vacuum science & technology
- ㆍ 권/호정보
- 2003년|7권 2호|pp.45-56 (12 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
