평판 digital x-선 검출기는 차세대 x-ray system으로 최근 연구와 개발이 활발하게 진행되고 있는 system이다. 본 연구는 환자의 피폭 및 작업 종사자의 피폭을 최소화 할 수 있고 의료장비의 디지털화에 발맞추어 PACS 등에 사용 가능한 a-Se을 이용한 직접방식의 digital x-선 검출기 구현에 관한 것이다. Prototype digital x-선 검출기는 TFT층과 a-Se층으로 이루어져 있다. Digital x-선 검출기센서 증착과 정의 최적화 수행 결과를 참고문헌1)-4)과 비교했을 때 매우 유사함을 확인하였다. 제작된 검출기의 pixel pitch는 $139{mu}m$였고, fill factor는 86%, 전체 검출기의 검출면적은 14"${ imes}$8.5"였다. Digital 영상의 해상력을 고려하기 위해 손과 test 패턴영상을 얻었고, 58%, 3.0lp/mm의 높은 MTF를 얻을 수가 있었다. 이러한 결과로 a-Se 기반의 Digital X선 검출기가 구현되었으며 본 연구결과를 토대로 향후 digital X선 검출기 개발기술의 발전과 성능향상을 가져올 것으로 기대된다.
Flat-panel detector(FPD) is the driving force for realizing the next gene ration of x-ray system. In this study, we developed amorphous selenium(a-Se) based flat-panel digital X-ray detector(DXD) for radiography. The prototype detector consists of an amorphous selenium layer and a thin-film transistor(TFT) array. Comparing to other papers1)-4), optimization of amorphous selenium and progress of evaporation were similar. The pixel pitch of fabricated detector was $139{mu}m$, fill factor was 86%, and the size was 14"${ imes}$8.5". Hand and test bar pattern images were acquired. A high modulation transfer function(MTF) factor was obtained: 58% at 3.0 lp/mm.
