- MEMS 공정에 의해 제작된 PZT 마이크로 켄틸레버의 전기기계적 거동 및 질량에 대한 공진특성 분석
- ㆍ 저자명
- 황교선,이정훈,박정호,김태송
- ㆍ 간행물명
- 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
- ㆍ 권/호정보
- 2004년|53권 2호|pp.116-122 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
