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얕은 트렌치와 전계 제한 확산 링을 이용한 접합 마감 설계의 1200 V급 소자에 적용
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  • 얕은 트렌치와 전계 제한 확산 링을 이용한 접합 마감 설계의 1200 V급 소자에 적용
저자명
하민우,오재근,최연익,한민구
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2004년|53권 6호|pp.300-304 (5 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We have proposed the junction termination design employing shallow trench filled with silicon dioxide and field limiting ring (FLR). We have designed trenches between P+ FLRs to decrease the junction termination radius without sacrificing the breakdown voltage characteristics. We have successfully fabricated and measured improved breakdown voltage characteristics of the Proposed device for 1200 V-class applications. The junction termination radius of the proposed device has decreased by 15%-21% compared with that of the conventional FLR at the identical breakdown voltage. The junction termination area of the proposed device has decreased by 37.5% compared with that of the conventional FLR. The breakdown voltage of the proposed device employing 7 trenches was 1156 V, which was 80% of the ideal parallel-plane .junction breakdown voltage.