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진공 펌프 성능 평가 계통의 동적 응답
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저자명
심우건,임종연,Sim. Woo-Gun,Lim. Jong-Yeon
간행물명
大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B
권/호정보
2004년|28권 11호|pp.1359-1367 (9 pages)
발행정보
대한기계학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The demand of vacuum pump has been increased in the process of semi-conduct manufacturing, as a core component. The response of the system for vacuum pump performance test can be utilized to assess the system and to obtain the reliability of the apparatus for the test. The system consists of gas supply tank, pressure chamber, measurement chamber and transmission line. Transient analysis for compressible fluid has been conducted to evaluate the dynamic characteristic of the volume terminated transmission line. Numerical approach based on the method of characteristics is used for the analysis. The response is evaluated with the important parameters for the system: i.e., length and diameter of the line, volume of the terminal tank. Using the numerical results, pumping speeds are calculated and then compared to the experimental results.