- AFM을 이용한 기계적 물성 측정
- ㆍ 저자명
- 이학주,김재현,조기호
- ㆍ 간행물명
- 기계저널 : 大韓機械學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2004년|44권 12호|pp.51-55 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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이 글에서는 AFM을 이용한 미소 구조물의 기계적 물성 측정 방법 중 기계적 물성 측정을 위한 대칭형 AFM 캔틸레버의 고안, 제작, 보정 및 측정 방법을 중심을 기술한다.