- Simulations of Capacitively Coupled Plasmas Between Unequal-sized Powered and Grounded Electrodes Using One- and Two-dimensional Fluid Models
- Simulations of Capacitively Coupled Plasmas Between Unequal-sized Powered and Grounded Electrodes Using One- and Two-dimensional Fluid Models
- ㆍ 저자명
- So. Soon-Youl
- ㆍ 간행물명
- KIEE international transactions on electrophysics and applications
- ㆍ 권/호정보
- 2004년|5호|pp.220-229 (10 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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