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무전해 Ni-B 도금을 이용한 플라즈마 디스플레이 버스 전극용 확산방지막의 열처리 영향
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  • 무전해 Ni-B 도금을 이용한 플라즈마 디스플레이 버스 전극용 확산방지막의 열처리 영향
저자명
최재웅,황길호,홍석준,강성군,Choi. Jae Woong,Hwang. Gil Ho,Hong. Seok Jun,Kang. Sung Goon
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2004년|14권 8호|pp.552-557 (6 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Thin Ni-B films, 1 ${mu}m$ thick, were electrolessly deposited on Cu bus electrode fabricated by electro deposition. The purpose of these films is to encapsulate Cu electrodes for preventing Cu oxidation and to serve as a diffusion barrier against copper contamination of dielectric layer in AC-plasma display panel. The layers were heat treated at $580^{circ}C$(baking temperature of dielectric layer) with and without pre-annealing at $300^{circ}C$($Ni_{3}B$ formation temperature) for 30 minutes. In the layer with pre-annealing, amount of Cu diffusion was lower about 5 times than that in the layer without pre-annealing. The difference of Cu concentration could be attributed to Cu diffusion before $Ni_{3}B$ formation at grain boundaries. However, the diffusion behavior of the layer with pre-annealing was similar to that of the layer without pre-annealing after $Ni_{3}B$ formation. With increasing annealing time, Cu concentration of both layers increased due to grain growth.