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Design Consideration of Body-Tied FinFETs (${Omega}$ MOSFETs) Implemented on Bulk Si Wafers
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  • Design Consideration of Body-Tied FinFETs (${Omega}$ MOSFETs) Implemented on Bulk Si Wafers
  • Design Consideration of Body-Tied FinFETs (${Omega}$ MOSFETs) Implemented on Bulk Si Wafers
저자명
Han. Kyoung-Rok,Choi. Byung-Gil,Lee. Jong-Ho
간행물명
Journal of semiconductor technology and science
권/호정보
2004년|4권 1호|pp.12-17 (6 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The body-tied FinFETs (bulk FinFETs) implemented on bulk Si substrate were characterized through 3-dimensional device simulation. By controlling the doping profile along the vertical fin body, the bulk FinFETs can be scaled down to sub-30 nm. Device characteristics with the body shape were also shown. At a contact resistivity of $1{ imes}10^{-7};{Omega};cm^2$, the device with side metal contact of fin source/drain showed higher drain current by about two. The C-V results were also shown for the first time.