Planetary milling법을 사용하여 Ti 분말과 $Si_3N_4$ bowl과의 반응을 유도하여 $TiN_x$을 제조하였으며, 이때 milling 시간은 1시간, 5시간, 10시간으로 조정하였다. 시편의 물성평가는 X선 회절분석을 통해 결정상의 변화를 분석한 결과 milling 시간이 5시간이 되면 비화학당량적 화합물인 $TiN_{0.26}$가 먼저 생성되고 10시간의 milling에서는 $TiN_{0.26}$과 TiN이 혼재되어 있는 것으로 확인되었다. 입도분석 및 FE-SEM으로 미세구조 분석을 한 결과, milling 시간이 증가함에 따라 Ti 입자사이즈가 감소하는 것으로 나타났으며, 10시간의 milling에서는 평균사이즈가 200nm의 $TiN_x$를 제조할 수 있었다.
[ $TiN_x$ ] powder have been fabrication by making of reaction between titanium powder and $Si_3N_4$ bowl during a planetary milling. Milling times were maintained for 1 hour, 5 hours, and 10 hours, respectively. The XRD result showed existence of non-stoichiometric compound of $TiN_{0.26}$ after 5 hours milling and coexistence of TiN with $TiN_{0.26}$ after 10 hours milling. Particle size distribution was investigated by particle size analyzer and microstructure was analyzed by FE-SEM. The size of titanium was decreased with increasing the milling time and the mean size of $TiN_x$ after 10 hours milling was increased by 200 nm.
