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Characteristics of Surface Micromachined Pyroelectric Infrared Ray Focal Plane Array
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  • Characteristics of Surface Micromachined Pyroelectric Infrared Ray Focal Plane Array
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저자명
Ryu. Sang-Ouk,Cho. Seong-Mok,Choi. Kyu-Jeong,Yoon. Sung-Min,Lee. Nam-Yeal,Yu. Byoung-Gon
간행물명
Journal of semiconductor technology and science
권/호정보
2005년|5권 1호|pp.45-51 (7 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We have developed surface micromachined Infrared ray (IR) focal plane array (FPA), in which single $SiO_{2}$ layer works as an IR absorbing plate and $Pb(Zr_{0.3}Ti_{0.7})O_{2}$ thin film served as a thermally sensitive material. There are some advantages of applying $SiO_{2}$ layer as an IR absorbing layer. First of all, the $SiO_{2}$ has good IR absorbance within $8{sim}12{mu}m$ spectrum range. Measured value showed about 60% absorbance of incident IR spectrum in the range. $SiO_{2}$ layer has another important merit when applied to the top of Pt/PZT/Pt stack because it works also as a supporting membrane. Consequently, the IR absorbing layer forms one body with membrane structure, which simplifies the whole MEMS process and gives robustness Ito the structure.