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NiCr 박막의 발열 특성 개선을 위한 순차적 이중 열처리 방법 연구
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  • NiCr 박막의 발열 특성 개선을 위한 순차적 이중 열처리 방법 연구
저자명
권용,노효섭,김남훈,최동유,박진성,Kwon. Yong,Noh. Whyo-Sup,Kim. Nam-Hoon,Cho. Dong-You,Park. Jinseong
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2005년|18권 8호|pp.714-719 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

NiCr thin film was deposited by DC magnetron sputtering on $A;_2O_3$/Si substrate with NiCr (80:20) alloy target. NiCr thin films were annealed at $300^{circ}C,;400^{circ}C,;500^{circ}C,;600^{circ}C,;and;700^{circ}C$ for 6 hr in $H_2$ after annealing at $500^{circ}C$ for 6hr in air atmosphere, respectively. To analyze NiCr thin film properties, the changes of its micro structure were Investigated through field emission scanning electron microscope (FESEM). X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) was used to analyze a surface of NiCr thin film. Resistance of NiCr thin film was measured by 4-point probe technique. The generated heats were measured by infrared thermometer through the application of DC voltage (5 V/l2 V). NiCr thin film treated by gradational double annealing process had uniform and small grains. Maximum temperature generated heat by NiCr micro heater was $173^{circ}C$. We expect that our results will be a useful reference in the realization of NiCr micro heater.