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플라즈마 조건 변화에 따른 ITO 특성 분석 및 유기발광소자의 제작에 관한 연구
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  • 플라즈마 조건 변화에 따른 ITO 특성 분석 및 유기발광소자의 제작에 관한 연구
저자명
김중연,강성종,조재영,김태구,오환술,Kim. Joong-Yeon,Kang. Seong-Jong,Cho. Jae-Young,Kim. Tae-gu,Oh. Hwan-Sool
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2005년|18권 10호|pp.941-944 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this experiment, OLEDs(Organic Light Emitting Diodes) was fabricated to confirm effect of Plasma treatment which increase the hole injection characteristic from anode. Device structure was $ITO/2-TNATA/{alpha}-NPD/DPVBi/BAlq/Alq_3/Al:Li$. We used DPVBi (4, 4 - Bis (2,2-diphenylethen-1-yls) - Biphenyl) as a blue emitting material. To optimize the process condition of plasma treatment, we used 2 gases of the oxygen and nitrogen gas under 120 mTorr with 100 W, 200 W, and 400 W plasma power. The current efficiency of $N_2$ plasma is more efficient than that of $O_2$ plasma. At $1000 cd/m^2$, we obtained the maximum current efficiency of 6.45 cd/A using $N_2$ gas with 200 W plasma power.