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Probe-based Storage Device(PSD)용 정전형 2축 MEMS 스테이지의 설계 및 제작
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  • Probe-based Storage Device(PSD)용 정전형 2축 MEMS 스테이지의 설계 및 제작
저자명
백경록,전종업,Baeck. Kyoung-Lock,Jeon. Jong Up
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2005년|22권 11호|pp.173-181 (9 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We report on the design and fabrication of an electrostatic 2-axis MEMS stage possessing a platform with a size of $5{times}5mm^2$. The stage, as a key component, would be used in developing probe-based storage devices in the future. It was fabricated by forming numerous $5{ imes}5{mu}m^2$ etching holes in the central platform, as a result, reducing the total number of masks to 1, thereby simplifying the whole fabrication process. Experimental results show that the driving range of the stage was $32{mu}m$ at the supplied voltage of 20V and the natural frequency was approximately 300Hz. The mechanical coupling between x- and y-motion was also measured and verified to be $25\%$.