- 1.3μm 파장 Al2O3/a-Si 박막 에탈론과 광학 상수 측정
- ㆍ 저자명
- 송현우,김종희,한원석,Song. H.W.,Kim. J.H.,Han. W.S.
- ㆍ 간행물명
- 한국광학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2005년|16권 5호|pp.476-478 (3 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국광학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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전자선 증착기를 이용하여 $1.3{mu}m$ 중심 파장의 파브리-페로 에탈론을 $Al_{2}O_3$와 a-Si 박막 쌍으로 증착하였다. 제작된 에탈론의 투과율 및 반사율 스펙트럼을 측정하여, 공진 파장에서 투과 반치폭이 ${sim}12.1;nm$이며 피네세(finesse) 값은 53임을 알았다. $Al_{2}O_3$ 단일박막의 광학 상수는 타원분광기법으로 측정하였다. $Al_{2}O_3$와 a-Si 박막 에탈론의 측정을 통하여 a-Si 박막의 굴절률은 각각 실수부 3.120, 허수부 0.002로 측정하였다. 이러한 박막 쌍은 $1.3{mu}m$ 파장 표면방출레이저의 출력 반사경으로 사용 가능하다.
We have fabricated a Fabry-Perot etalon around $1.3;{mu}m$ wavelength utilizing $Al_{2}O_3$ and a-Si thin films. A full width at half maximum of ${sim}12.1nm$ and a finesse value of 53 were found from the measured resonant transmission spectra. Single thin film of $Al_{2}O_3$ was analyzed by spectroscopic ellipsometry. A refractive index of a-Si thin film was measured as 3.120 in the real part and 0.002 in the imaginary part, respectively. The thin-film pairs of $Al_{2}O_3$ and a-Si are applicable to output mirrors of vertical-cavity surface-emitting lasers at $1.3{mu}m$ waveband.