기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
13.56 MHz 유도 결합 플라즈마에서의 강자성체 페라이트 코어의 효과
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • 13.56 MHz 유도 결합 플라즈마에서의 강자성체 페라이트 코어의 효과
  • The Effect of Ferrite Cores on the Inductively Coupled Plasma Driven at 13.56 MHz
저자명
이원기,이경효,정진욱,Lee. Won-Ki,Lee. Kyeong-Hyo,Chung. Chin-Wook
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2005년|4권 3호|pp.35-38 (4 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

Due to high permeability of the ferrite cores, the characteristics of the inductively coupled plasma(ICP) are expected to be greatly improved. We investigated the effect of the ferrite cores on conventional inductively coupled plasma. It was observed that the current and voltage in the ICP antenna are slightly decreased and the power transfer efficiency is increased. However, due to eddy current and hysteresis loss, plasma density in the ICP with the ferrite cores is not increased. It seems that the ICP with the ferrite cores at low frequency ($∼$100 kHz) will be greatly improved since the losses at the low frequency can be negligible.