- 13.56 MHz 유도 결합 플라즈마에서의 강자성체 페라이트 코어의 효과
- The Effect of Ferrite Cores on the Inductively Coupled Plasma Driven at 13.56 MHz
- ㆍ 저자명
- 이원기,이경효,정진욱,Lee. Won-Ki,Lee. Kyeong-Hyo,Chung. Chin-Wook
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2005년|4권 3호|pp.35-38 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
