- 표면 거칠기 및 다공도가 게터의 수소 흡착속도에 미치는 영향
- ㆍ 저자명
- 인상렬,In. S. R.
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2005년|14권 4호|pp.171-179 (9 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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몬테카를로 계산을 통해 표면 거칠기와 세공 표면밀도가 게터의 겉보기 부착계수에 미치는 영향을 정량화했다. 또 부착계수와 게터 내부에서 확산속도에 따라 게터 흡착속도가 어떤 형태로 변화하는지 해석한 결과를 소개한다.
The influence of the surface roughness and the porosity on the apparent sticking coefficient of the getter was determined quantitatively by Monte Carlo simulation. The sorption characteristics of the getter was investigated by solving numerically the particle balance equation depending on the sticking probability and diffusivity.