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트렌치 산화막을 갖는 정전유도트랜지스터의 전기적 특성에 관한 연구
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  • 트렌치 산화막을 갖는 정전유도트랜지스터의 전기적 특성에 관한 연구
저자명
강이구,김제윤,홍승우,성만영,Kang. Ey-Goo,Kim. Je-Yoon,Hong. Seung-Woo,Sung. ManYoung
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2005년|18권 1호|pp.6-11 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, two types of vertical SIT(Static Induction Transistor) structures are proposed to improve their electrical characteristics including the blocking voltage. Besides, the two dimensional numerical simulations were carried out using ISE-TCAD to verify the validity of the device and examine the electrical characteristics. First, a trench gate region oxide power SIT device is proposed to improve forward blocking characteristics. Second, a trench gate-source region power SIT device is proposed to obtain more higher forward blocking voltage and forward blocking characteristics at the same size. The two proposed devices have superior electrical characteristics when compared to conventional device. In the proposed trench gate oxide power SIT, the forward blocking voltage is considerably improved by using the vertical trench oxide and the forward blocking voltage is 1.5 times better than that of the conventional vertical power SIT. In the proposed trench gate-source oxide power SIT, it has considerable improvement in forward blocking characteristics which shows 1500V forward blocking voltage at -10V of the gate voltage. Consequently, the proposed trench oxide power SIT has the superior stability and electrical characteristics than the conventional power SIT.