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Measurement of Ar Temperature of Hollow Cathode Discharge Plasma
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  • Measurement of Ar Temperature of Hollow Cathode Discharge Plasma
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저자명
이준회,신재소,이숭직,이민소,Lee. Jun-Hoi,Shin. Jae-Soo,Lee. Sung-Jik,Lee. Min-Soo
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2005년|18권 4호|pp.381-385 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The plasma temperature of Ar gas in hollow cathode discharge were measured. This is done by measuring the line profile of the 1s8-2p8 transition in Ar, using a single-frequency diode laser. Low power diode lasers have been successfully used for investigation of the line profiles of Ar transitions in hollow cathode discharges. It turns out that the plasma temperature of Ar is 640∼783 K in the discharge current range at 7∼10 mA.