- 재사용 가능한 100nm급 패턴의 퀄츠 마스터 제작 및 퀄츠 마스터를 사용한 사출성형실험
- ㆍ 저자명
- 최두선,이준형,유영은,제태진,황경현,서영호,Choi. Doo-Sun,Lee. Joon-Hyoung,Yoo. Yeong-Eun,Je. Tae-Jin,Whang. Kyung-Hyun,Seo. Young Ho
- ㆍ 간행물명
- 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A
- ㆍ 권/호정보
- 2005년|29권 2호|pp.228-231 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
