- 수율향상을 위한 반도체 EDS공정에서의 불량유형 자동분류
- Automatic Classification of Failure Patterns in Semiconductor EDS Test for Yield Improvement
- ㆍ 저자명
- 한영신,이칠기,Han. Young Shin,Lee. Chil Gee
- ㆍ 간행물명
- 한국시뮬레이션학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2005년|14권 1호|pp.1-8 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국시뮬레이션학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
