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수율향상을 위한 반도체 EDS공정에서의 불량유형 자동분류
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  • 수율향상을 위한 반도체 EDS공정에서의 불량유형 자동분류
  • Automatic Classification of Failure Patterns in Semiconductor EDS Test for Yield Improvement
저자명
한영신,이칠기,Han. Young Shin,Lee. Chil Gee
간행물명
한국시뮬레이션학회논문지
권/호정보
2005년|14권 1호|pp.1-8 (8 pages)
발행정보
한국시뮬레이션학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In the semiconductor manufacturing, yield enhancement is an urgent issue. It is ideal to prevent all the failures. However, when a failure occurs, it is important to quickly specify the cause stage and take countermeasure. Reviewing wafer level and composite lot level yield patterns has always been an effective way of identifying yield inhibitors and driving process improvement. This process is very time consuming and as such generally occurs only when the overall yield of a device has dropped significantly enough to warrant investigation. The automatic method of failure pattern extraction from fail bit map provides reduced time to analysis and facilitates yield enhancement. The automatic method of failure pattern extraction from fail bit map provides reduced time to analysis and facilitates yield enhancement. This paper describes the techniques to automatically classifies a failure pattern using a fail bit map.