- 경취 재료의 초정밀 경면 가공
- ㆍ 저자명
- 한국광학기기협회,. Korea Optical Industry Association
- ㆍ 간행물명
- 광학세계
- ㆍ 권/호정보
- 2005년|98권 2호|pp.68-74 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국광학기기협회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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최근 실리콘 웨이퍼 등 취성 재료에 있어 표면 거칠기나 마이크로 크랙 등 표면 품질과 함께 형상 정밀도에 대한 요구가 높아지고 있다. 본 고에서는 경취 재료의 초정밀 가공으로서 광학 유리재를 대상으로 하여 다이아몬드 절삭에 의한 임계 절입 깊이를 실험적으로 조사한 결과와 메탈 본드 다이아몬드 지석을 이용한 초정밀 경면 절삭 기술에 대해 소개한다.