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연성회로기판에 실장된 실리콘 기반의 유연 촉각센서 어레이 제작 및 평가
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  • 연성회로기판에 실장된 실리콘 기반의 유연 촉각센서 어레이 제작 및 평가
저자명
김건년,김용국,이강열,조우성,이대성,조남규,김원효,박정호,김수원,주병권,Kim. K.N.,Kim. Y.K.,Lee. K.R.,Cho. W.S.,Lee. D.S.,Cho. N.K.,Kim. W.H.,Park. J.H.,Kim. S.
간행물명
센서학회지
권/호정보
2006년|15권 4호|pp.277-283 (7 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We presented that fabrication process and characteristics of 3 axes flexible tactile sensor available for normal and shear force fabricated using Si micromachining and packaging technologies. The fabrication processes for 3 axes flexible tactile sensor were classified in the fabrication of sensor chips and their packaging on the flexible PCB. The variation rate of resistance was about 2.1 %/N and 0.5 %/N in applying normal and shear force, respectively. The flexibility of fabricated 3 axes flexible tactile sensor array was good enough to place on the finger-tip.