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Fabrication and Characteristics of Indium Tin Oxide Films on CR39 Substrate for OTFT
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  • Fabrication and Characteristics of Indium Tin Oxide Films on CR39 Substrate for OTFT
  • Fabrication and Characteristics of Indium Tin Oxide Films on CR39 Substrate for OTFT
저자명
Kwon. Sung-Yeol
간행물명
Transactions on electrical and electronic materials
권/호정보
2006년|7권 5호|pp.267-270 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The Indium tin oxide (ITO) films were deposited on CR39 substrate using DC magnetron sputtering. ITO thin films deposited at room temperature because CR39 substrates its glass-transition temperature of is $130^{circ}C$. ITO thin films used bottom and top electrode and for organic thin film transparent transistor.(OTFT) ITO thin film electrodes electrical properties and optical transparency properties in the visible wavelength range (300 - 800 nm) strongly dependent on volume of oxygen percent. For the optimum resistivity and transparency of ITO thin film electrode achieved with a 75 W plasma power, 10 % volume of oxygen and a 27 nm/min deposition rate. Above 85 % transparency in the visible wavelength range (300 - 800 nm) measured without post annealing process and $9.83{times}10{-4}{Omega}cm$ a low resistivity was measured thickness of 300 nm.