- On the Design of the Latch Mechanism for Wafer Containers in a SMIF Environment
- On the Design of the Latch Mechanism for Wafer Containers in a SMIF Environment
- ㆍ 저자명
- Lee. Jyh-Jone,Chen. Dar-Zen,Pai. Wei-Ming,Wu. Tzong-Ming
- ㆍ 간행물명
- Journal of mechanical science and technology
- ㆍ 권/호정보
- 2006년|20권 12호|pp.2025-2033 (9 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한기계학회
- ㆍ 파일정보
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- ㆍ 주제분야
- 기타
