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$SiH_4-Ar$ 혼합기체의 평균 에너지에 관한 연구
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  • $SiH_4-Ar$ 혼합기체의 평균 에너지에 관한 연구
저자명
김상남,Kim. Sang-Nam
간행물명
전기학회논문지. The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. P
권/호정보
2006년|55권 2호|pp.57-61 (5 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper calculates and gives the analysis of mean energy in pure $SiH_4,;Ar-SiH_4$ mixture gases ($SiH_4-0.5[%],;5[%]$) over the range of $E/N =0.01{sim}300[Td]$, p = 0.1, 1, 5.0 [Torr] by Monte Carlo the Backward prolongation method of the Boltzmann equation using computer simulation without using expensive equipment. The results have been obtained by using the electron collision cross sections by TOF, PT, SST sampling, compared with the experimental data determined by the other author. It also proved the reliability of the electron collision cross sections and shows the practical values of computer simulation. The calculations of electron swarm parameters require the knowledge of several collision cross-sections of electron beam. Thus, published momentum transfer, ionization, vibration, attachment, electronic excitation, and dissociation cross-sections of electrons for $SiH_4$ and Ar, were used. The differences of the transport coefficients of electrons in $SiH_4$, mixtures of $SiH_4$ and Ar, have been explained by the deduced energy distribution functions for electrons and the complete collision cross-sections for electrons. A two-term approximation of the Boltzmann equation analysis and Monte Carlo simulation have been used to study electron transport coefficients.