CoFeNi 합금은 HDD, MEMS 분야에서 head core 재료로 쓰이는 permalloy(FeNi)합금보다 뛰어난 우수한 자기적 특성을 가진 재료로써 최근 많이 연구되어지고 있다. 전기도금된 CoFeNi합금 박막의 열처리에 따른 미세구조 변화와 결정학적 특성이 자기특성에 미치는 영향을 조사하였다. 삼원계 합금을 열처리하면 전기도금 시 결정의 크기와 결정구조의 변화가 자기특성에 영향을 미친다. 이를 조사하여 열처리를 통하여 얻어지는 CoFeNi계 박막의 자기 특성을 향상시키고자 하였고, $300{sim}400^{circ}C$까지 열처리를 함으로써 보자력을 최소화하고 포화자화 값을 증가시켰다. 포화자화 값의 증가는 bcc상의 생성으로 야기되는 것으로 판단된다.
CoFeNi alloys are some of the most studied soft magnetic materials because of their superial properties over FeNi alloys as write head core materials in HDD and MEMS. We studied the effect of magnetic property according to size and orientation of crystal for electroplated Co-Fe-Ni alleys. In case of heat treated ternary alloy, it affect the change of crystal size and structure. In this study, it intends to improve the magnetic properties of CoFeNi thin film by heat treatment. Minimized coercivity and increased magnetization are due to heat treatment from $300^{circ}C;to;400^{circ}C$. As a bcc phase formation, it grow to amount of magnetization.
