나노 스케일 벌크 MOSFET의 RF 비선형 특성을 넓은 bias영역에 걸쳐 정확히 예측하기 위하여 내된 비선형 요소들을 가진 엠피리컬 비선형 모델이 새롭게 구축되었다. 먼저, 나노 스케일 벌크 MOSFET에 적합한 파라미터 추출방법을 사용하여 측정된 S-파라미터로부터 bias 종속 내부 파라미터 곡선을 추출하였다. 그 후에 비선형 캐패시턴스 및 전류원 방정식들은 추출된 bias 종속 곡선들과 3차원 fitting함으로서 엠피리컬하게 구하여졌다. 이와 같이 모델된 S-파라미터는 60nm MOSFET의 측정치와 20GHz 까지 아주 잘 일치하였으며, 이는 엠피리컬 나노 MOSFET 모델의 정확도를 증명한다
An empirical nonlinear model with intrinsic nonlinear elements has been newly developed to predict the RF nonlinear characteristics of nano-scale bulk MOSFET accurately over the wide bias range. Using an extraction method suitable for nano-scale MOSFET, the bias-dependent data of intrinsic model parameters have been accurately obtained from measured S-parameters. The intrinsic nonlinear capacitance and drain current equations have been empirically obtained through 3-dimensional curve-fitting to their bias-dependent curves. The modeled S-parameters of 60nm MOSFET have good agreements with measured ones up to 20GHz in the wide bias range, verifying the accuracy of the nano-scale MOSFET model.
