레이저 초음파 검사 장치는 레이저빔을 이용하여 초음파 신호를 발생시키고 측정하는 비접촉식 결함 검사 장치이다. 이 장치는 펄스 레이저빔을 이용하여 광대역 주파수 범위를 갖는 초음파 신호를 발생시키고 작은 점으로 집속된 측정용 레이저빔을 이용하여 초음파 신호를 측정하므로 우수한 측정 분해능을 제공한다. 본 논문에서는 레이저 초음파의 표면파를 이용하여 표면 결함의 깊이를 측정하는 기법에 대한 연구를 수행하였다. 표면 결함은 깊이가 깊어질수록 차단 주파수 값이 작아지는 저주파 통과 필터 역할을 한다. 그리고 결함을 통과한 초음파 신호의 중심 주파수 값은 결함의 깊이에 따라 반비례적으로 작아진다. 본 논문에서는 표면 결함의 정규화 된 전달함수를 구한 다음 주파수 감쇠 성분을 이용하여 표면 결함의 깊이 정보를 추출하였고 표면 결함을 통과한 레이저 초음파 신호의 중심 주파수 값을 이용하여 결함의 릴이 정보를 추출하였다. 제안된 표면 결함 깊이 측정 방법은 초음파의 진폭 변화에 의한 결함 깊이 측정법보다 더욱 정밀한 정보를 제공하였다.
A laser ultrasonic inspection system is a non-contact inspection device which generates and measures ultrasounds by using laser beams. A laser ultrasonic inspection system provides a high measurement resolution because the ultrasonic signal generated by a pulse laser beam has a wide-band spectrum and the ultrasonic signal is measured from a small focused spot of a measuring laser beam. In this paper, we have investigated the detection techniques of a surface-breaking crack by using the laser ultrasonic surface waves. A crack acts as a low pass filter whose cut-off frequency is lowered in proportion to the depth of a crack. And, the center frequency value of a spectrum is decreased in proportion to the depth of a crack. In this paper, we extracted the crack information by using the frequency attenuation from the normalized transfer function spectrum of a surface-breaking crack. Also, we effectively measured the crack depth by using the decreasing value of the center frequency from a crack passed ultrasonic signal. The proposed measuring techniques of crack depths provided more precise information than the amplitude measuring technique.
