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전자군 방법에 의한 C3F8분자가스의 비탄성충돌단면적의 결정
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  • 전자군 방법에 의한 C3F8분자가스의 비탄성충돌단면적의 결정
저자명
전병훈,Jeon. Byung-Hoon
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2006년|19권 3호|pp.301-306 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The electron drift velocity W and the product of the longitudinal diffusion coefficient and the gas number density $ND_{L}$ in the $0.525;\%$ and $5.05;\%$ $C_{3}F_8-Ar$ mixtures were measured by using the double shutter drift tube with variable drift distance over the E/N range from 0.03 to 100 Td and gas pressure range from 1 to 915 torr. And we determined the electron collision cross sections set for the $C_{3}F_8$ molecule by STEP 1 of electron swarm method using a multi-term Boltzmann equation analysis. Our special attention in the present study was focused upon the vibrational excitation and new excitations cross sections of the $C_{3}F_8$ molecule.