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이축정렬된 Ni 금속모재에 RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 $CeO_2$ 및 $Y_2O_3$ 완충층 박막 특성
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  • 이축정렬된 Ni 금속모재에 RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 $CeO_2$ 및 $Y_2O_3$ 완충층 박막 특성
  • Epitaxial Growth of $CeO_2;and;Y_2O_3$ Buffer-Layer Films on Textured Ni metal substrate using RF Magnetron Sputtering
저자명
오용준,라정석,이의길,김찬중,Oh. Y.J.,Ra. J.S.,Lee. E.G.,Kim. C.J.
간행물명
Progress in superconductivity
권/호정보
2006년|7권 2호|pp.120-129 (10 pages)
발행정보
한국초전도학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We comparatively studied the epitaxial growth conditions of $CeO_2$ and $Y_2O_3$ thin buffers on textured Ni tapes using rf magnetron sputtering and investigated the feasibility of getting a single mixture layer or sequential layers of $CeO_2$ and $Y_2O_3$ for more simplified buffer architecture. All the buffer layers were first deposited using the reducing gas of $Ar/4%H_2$ and subsequently the reactive gas mixture of Ar and $O_2$, The crystalline quality and biaxial alignment of the films were investigated using X-ray diffraction techniques (${Theta}-2{Theta},;{phi};and;{omega};scans$, pole figures). The $CeO_2$ single layer exhibited well developed (200) epitaxial growth at the condition of $10%;O_2$ below an $450^{circ}C$, but the epitaxial property was decreased with increasing the layer thickness. $Y_2O_3$ seldom showed optimum condition for (400) epitaxial growth. The sequential architecture of $CeO_2/Y_2O_3/CeO_2$ having good epitaxial property was achieved by sputtering at a temperature of $700^{circ}C$ on the initial $CeO_2$ bottom layer sputtered at $400^{circ}C$. Cracking of the sputtered buffer layers was seldom observed except the double layer structure of $CeO_2/Y_2O_3$.