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표면 탄성파를 이용한 온도센서의 제작 및 특성에 대한 연구
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  • 표면 탄성파를 이용한 온도센서의 제작 및 특성에 대한 연구
저자명
박재홍,김재환,Park. Jae-Hong,Kim. Jae-Hwan
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2006년|23권 4호|pp.139-145 (7 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper presents the design and manufacturing of a sensor using SAW and delay line in order to measure temperature. SAW sensors having single and double electrodes are manufactured on the $128^{circ}YX-LiNbO_3$ substrate, and its process is addressed. Before manufacturing, the device is simulated using a commercial finite element program. The frequency responses of the saw sensor on the temperature change is measured. Since the center frequency on the temperature change from $-30^{circ}C$ to $80^{circ}C$ is linearly changed, the saw sensor is applicable to measure the temperature change or strain variation.