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파동간섭효과를 고려한 다층 박막 구조의 광학특성에 대한 수치해석 연구
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  • 파동간섭효과를 고려한 다층 박막 구조의 광학특성에 대한 수치해석 연구
저자명
심형섭,이성혁,Shim. Hyung-Sub,Seong-Hyuk. Seong-Hyuk
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문
권/호정보
2006년|55권 5호|pp.272-277 (6 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The present study is devoted to investigate numerically the optical characteristics of multi-layer thin film structures such as $Si/SiO_2;and;Ge/Si/SiO_2$ by using the characteristics transmission matrix method. The reflectivity and the absorptivity rate for thin film structures are estimated for different incident angles of rays and various film thicknesses. In addition, the influence of wavelength on optical characteristics related to complex refractive index is examined. It is found that such wave-like characteristics are observed in predicting reflectivities and depends mainly on film thickness. Moreover, the present study predicts the film thickness for ignoring wave interference effects, and it also discusses the fundamental physics behind optical and energy absorption characteristics appearing in multi-layer thin film structures.