- 유도결합형 플라즈마 식각공정을 통해 제작된 460 nm 격자를 갖는 나노 광결정 특성
- Fabrication of Nano-photonic Crystals with Lattice Constant of 460-nm by Inductively-coupled Plasma Etching Process
- ㆍ 저자명
- 최재호,김근주,Choi. Jae-Ho,Kim. Keun-Joo
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2006년|5권 2호|pp.1-5 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
