Overview on the Development of UHV Ion Pumps

Overview on the Development of UHV Ion Pumps
Overview on the Development of UHV Ion Pumps

ㆍ 저자명: Bonmassar. Luca
ㆍ 간행물명: 韓國眞空學會誌
ㆍ 권/호정보: 2006년|15권 3호|pp.231-240 (10 pages)
ㆍ 발행정보: 한국진공학회
ㆍ 파일정보: 정기간행물|ENG|
PDF텍스트
ㆍ 주제분야: 기타

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서지반출

영문초록

본 총설논문에서는 초고진공 이온펌프의 개발에 대한 고찰을 하였으며, 이온펌프의 동작원리와 특정 디자인에 대하여 설명하였다. 다양한 가스를 사용할 때의 이온펌프의 성능과 동작범위, 그리고 응용분야 등을 논의하였다.

기타언어초록

The paper reviews the development of ion pumps, their operating principles and describes particular designs. The performance of ion pumps when used for various gases, their range of operation and fields of application are discussed.

키워드

이온펌프 다이오드 스타셀 진공 Ion pump Diode Starcell Vacuum

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