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Fabrication of Nano-Structures on NiFe Film by Anodization with Atomic Force Microscope
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  • Fabrication of Nano-Structures on NiFe Film by Anodization with Atomic Force Microscope
  • Fabrication of Nano-Structures on NiFe Film by Anodization with Atomic Force Microscope
저자명
Okada. T.,Uchida. H.,Inoue. M.
간행물명
Journal of magnetics
권/호정보
2006년|11권 3호|pp.135-138 (4 pages)
발행정보
한국자기학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We studied local anodization on permalloy $(Ni_{80}Fe_{20})$ thin film with an atomic force microscope (AFM), which was performed by applying a voltage between the permalloy sample and conductive AFM tip. Comparing with anodization on Si (100) substrate, nano-structures on the permalloy thin film was fabricated with low processability.In order to improve the processability on the permalloy thin film, we used dot-fabrication method, thatis, a conductive AFM probe was kept at a position on the film during the anodization process.