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Thompson-Lampard 정리를 적용한 마이크로미터 변위 측정을 위한 비접촉식 전기용량 센서 개발
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  • Thompson-Lampard 정리를 적용한 마이크로미터 변위 측정을 위한 비접촉식 전기용량 센서 개발
저자명
김한준,강전홍,한상옥,Kim. Han-Jun,Kang. Jeon-Hong,Han. Sang-Ok
간행물명
전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. B, 전기기기 및 에너지변환시스템부문
권/호정보
2006년|55권 9호|pp.443-448 (6 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Non-contacting capacitive sensor based on Thompson-Lampard theorem have been fabricated and characterized for measuring of 때 order displacements. To overcome disadvantages of the existed capacitive sensors of parallel plate type with 2-electrodes and 3-electrodes, the developed new sensor was designed to have 4-electrodes with a constant gap of 0.2mm between the electrodes. Two of the electrodes were used as a high potential electrode and a low one, the other two electrodes were used as guard electrodes. These electrodes were made from copper using RF sputtering system on a sapphire plate with diameter 17 mm and thickness 0.7 mm. This sensor can be used for measuring the distance not only between the sensor and metallic target connected to ground potential but also non-metallic target without ground connection.