극청정 가스필터용 다공성 멤브레인을 제조하기 위해 금속산화물 분말의 in-situ한 환원/소결 공정을 이용하였다. 또한 기공도의 향상을 위해 solid pore forming agent로써 구형의 폴리머 입자를 첨가하여 금속 섬유를 사용한 멤브레인과 비슷한 52%의 기공도를 가지는 니켈 멤브레인을 제조하였다. 제조된 니켈 멤브레인은 폴리머의 첨가에 따라 평균기공크기와 기공도가 증가하였다. 한편 환원/소결 온도가 $800^{circ}C$에서 $1000^{circ}C$로 상승함에 따라 평균기공크기와 기공도는 감소하였다. 이는 환원/소결 온도가 상승함에 따라 격자확산 및 입계확산이 진행되어 멤브레인의 수축률 증가를 일으켰기 때문이다.
Porous nickel membrane far high precision gas filter was prepared by in-situ reduced/sintered process of NiO with an addition of polymer(PMMA; polymethyl methacrylate). It showed that the porosity of Ni membrane was approximately 52%. It is similar to metal membrane which prepared using metal fiber as raw materials. The average pore diameter and porosity of Ni membrane increased as content of added polymer and decreased as elevating reduced/sintered temperature from $800^{circ}C$ to $1000^{circ}C$. Increase of porosity at $800^{circ}C$ was associated with surface diffusion mechanism that leads to initial sintering, while decrease of porosity at $1000^{circ}C$ was associated with lattice diffusion and grain boundary diffusion.
