본 논문에서는 저압환경에서 실시간으로 나노입자를 측정할 수 있는 PBMS(Particle Beam Mass Spectrometer)의 개발에 대해 서술하였다. 개발된 PBMS의 교정을 위해 NaCl입자를 사용하였다. DMA(Differential Mobility Analyzer)를 통해 +1가로 하전된입자를 1 lpm 발생시켜 그 중 0.086 lpm을 PBMS 입구의 오리피스를 통해 분기하여 유입시켰다. DMA와 PBMS의 전류값을 비교하여 전송효율을 측정한 결과 입자의 크기에 따라 약 50$sim$60%를 나타내었다. 또한 DMA에서 특정한 크기의 입자를 발생시켜 PBMS로 측정하였으며 그 결과는 입자크기별 농도분포와 잘 일치함을 확인할 수 있었다.
In this paper, we discussed about the development of the PBMS(Particle Beam Mass Spectrometer) that can measure the nanoparticles on real-time in low-pressure processes. To calibrate this equipment, a DMA(Differential Mobility Analyzer) was used to generate NaCl particles which are charged to +1. Total aerosols flow rate was 1 lpm and 0.086 lpm of that was introduced into the PBMS through the pressure-reducing critical orifice. Transport efficiency through PBMS was 50$sim$60 % compared to particle current for DMA and PBMS according to the particle size. Results of mesurements are in good agreement with size distributions obtained by DMA.
