기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
Improvement of Resonance Characteristics by Post-Annealing in FBAR Devices
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • Improvement of Resonance Characteristics by Post-Annealing in FBAR Devices
  • Improvement of Resonance Characteristics by Post-Annealing in FBAR Devices
저자명
Lee. Jae-Young,Mai. Linh,Yoon. Gi-Wan
간행물명
International journal of maritime information and communication sciences
권/호정보
2007년|5권 4호|pp.320-323 (4 pages)
발행정보
한국해양정보통신학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

This paper presents the resonance characteristics of the ZnO-based FBAR devices with multilayered Bragg reflectors with Cr adhesion layer inserted between $SiO_2$ and W layers. Due to the post- annealing, the return loss ($S_{11}$) and series/parallel quality factor are significantly improved when compared with the non-post annealing. This post-annealing method seems to be a very efficient way to improve the resonance characteristics of FBAR devices.