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기판의 표면에너지가 반사경의 산란에 미치는 영향
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  • 기판의 표면에너지가 반사경의 산란에 미치는 영향
저자명
이범식,유연석,이재철,허덕재,조현주,Lee. Beom-Sik,Yu. Yeon-Serk,Lee. Jae-Cheul,Hur. Deog-Jae,Cho. Hyun-Ju
간행물명
한국광학회지
권/호정보
2007년|18권 6호|pp.452-460 (9 pages)
발행정보
한국광학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

ZERODUR와 용융 석영으로 저산란 반사경을 제작하고 산란 특성을 연구하였다. Bowl feed 법을 이용하여 초연마면인 표면거칠기 0.326 ${AA}$인 용융 석영 기판과 표면거칠기 0.292 ${AA}$의 ZERODUR 기판을 얻었다. 이온빔 스퍼터링 방법으로 초연마된 기판 위에 $SiO_2$와 $Ta_2O_5$를 교번으로 22층을 증착하여 다층박막 고반사 거울을 얻었다. 용융 석영 반사경과 ZERODUR 반사경의 산란이 각각 4.6 ppm과 30.9 ppm으로 측정되었으며, 이로부터 산란이 매우 작은 경우 기판의 표면거칠기가 산란을 결정하는 주요 파라미터가 아니라는 것을 알았다. 나아가 반사경의 표면거칠기를 AFM으로 측정한 결과. ZERODUR 반사경이 용융 석영 반사경 보다 박막의 표면거칠기가 2.3배 더 높게 측정 되었다. 이 결과는 기판-박막 경계면에서 박막 형성 초기에 기판의 화학조성 또는 결정방향과 증착물질의 상호관계로 인하여 박막 형성 초기에 표면거칠기가 급격히 나빠져서 발생하는 것으로 유추되었다. SEO 300A으로 접촉각 측정을 하여 Giriflaco-Good-Fowkees-Young 방법으로 표면에너지를 계산하였다. 표면거칠기 0.46 ${AA}$을 갖는 용융 석영 기판이 표면거칠기 0.31 ${AA}$을 갖는 ZERODUR 기판보다 접촉각이 더 작고 표면에너지는 크게 나타났다. 이러한 차이가 기판 종류에 따라 박막형성 초기에 표면거칠기를 다르게 하는 한 요인으로 판단되며, 기판의 표면에너지가 높을수록 미려한 박막표면을 얻는 것으로 확인되었다. ZERODUR의 표면에너지 차이를 설명하기 위해 XPS 분석으로 용융 석영은 Si, O로 구성되었고 ZERODUR는 Si, O, Al, Na 그리고 F로 구성되었다는 것을 알 수 있었다.다. LDH 수준에서는 LPS를 투여한 대조군이 정상군에 비교하여 약 5.8배 증가하였으며 HM군이 대조군에 비교하여 68.91%의 수치로 감소하였다. TG의 수준에서도 LPS를 투여한 대조군이 정상군에 비교하여 약 3.8배 증가하였으며 HM군이 대조군에 비교하여 101.14%의 수치로 감소하였다. MDA는 LPS를 투여한 대조군이 정상군에 비해서 약 3.5배 정도로 높게 나타났고 HM군은 대조군에 비해 58.65%의 감소효과를 보였다. LPS가 간에 염종을 유발하여 혈청 속의 total-cholesterol과 HDL-cholesterol level이 감소하고 total-lipid와 LDH, TG의 수준이 증가한 것으로 사료되며 대조군에 비교하여 HM군이 혈청 속의 total-cholesterol과 HDL-cholesterol level을 증가시키고 total-lipid와 LDH, TG의 수준을 감소시킨 것으로 보아 HM이 동맥경화 등 지질대사 이상에 의한 성인병에 효과가 있을 것으로 사료된다. MDA에서는 대조군에서 LPS가 간 염증을 유발하여 과산화지질함량이 증가한 것으로 사료되며 대조군에 비해 HM군이 과산화 지질함량이 감소된 것으로 보아 HM이 활성산소의 생성을 억제하여 높아진 간 조직 과산화지질함량을 감소시킴으로써 간기능 개선효과가 있을 것으로 사료된다.optotic body와 함께 대식세포가 산재되어 있었다. 방사선(X-선) 조사 및 선량증가에 따라 정상 난소조직의 난포액의 불균질 물질의 생성, 난포의 기저막의 염색성출현, 세포예정사 발생, 대식세포들의 변화 등을 확인하였다. 이 결과를 통하여 여성 자궁암을 방사선치료 시 방사선조사범위내에 포함되는 정상 난소조직에 초래 될 수 있는 방사선 생물학적 장해를 이해할 수 있다 하겠다.는 통합적인 노력이 요구된다.야 하고, 검사관리를 통해 원재료와 최종제품의 안전성이 확보되어야 한다. 납품업체들의 검사관리 수행도를 높이기 위해서는 검사시설

기타언어초록

Ultra-low loss ZERODUR and fused silica mirrors were manufactured and their light scattering characteristics were investigated. For this purpose, ZERODUR and fused silica substrates were super-polished by the bowl feed method. The surface roughness were 0.292 ${AA}$ and 0.326 ${AA}$ in rms for ZERODUR and fused silica, respectively. To obtain the high reflectivity, 22 thin film layers of $SiO_2$ and $Ta_2O_5$ were deposited by Ion Beam Sputtering. The measured light scattering of ZERODUR and fused silica mirror were 30.9 ppm and 4.6 ppm, respectively. This shows that the substrate surface roughness is not the only parameter which determines the light scattering of the mirror. In order to investigate the mechanism for additional light scattering of the ZERODUR mirror, the surface roughness of the mirror was measured by AFM and was found to be 2.3 times higher than that of the fused silica mirror. It is believed that there is some mismatch at the interface between the substrate and the first thin film layer which leads to the increased mirror surface roughness. To clarify this, the contact angle measurements were performed by SEO 300A, based on the Giriflaco-Good-Fowkes-Young method. The fused silica substrates with 0.46 ${AA}$ in its physical surface roughness shows lower contact angle than that of the ZERODUR substrate with 0.31 ${AA}$. This indicates that the thin film surface roughness is determined by not only its surface roughness but also the surface energy of the substrate, which depends on the chemical composition or crystalline orientation of the materials. The surface energy of each substrate was calculated from a contact angle measurement, and it shows that the higher the surface energy of the substrate, the better the surface roughness of the thin film.