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ICP-CVD 방법으로 성장된 탄소 나노튜브의 구조적 특성 및 전계방출 특성: 기판전압 인가 효과
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  • ICP-CVD 방법으로 성장된 탄소 나노튜브의 구조적 특성 및 전계방출 특성: 기판전압 인가 효과
저자명
박창균,김종필,윤성준,박진석,Park. C.K.,Kim. J.P.,Yun. S.J.,Park. J.S.
간행물명
전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
권/호정보
2007년|56권 1호|pp.132-138 (7 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Carbon nanotubes (CNTs) arc grown on Ni catalysts employing an inductively-coupled plasma chemical vapor deposition (ICP-CVD) method. The structural and field-emissive properties of the CNTs grown are characterized in terms of the substrate-bias applied. Characterization using the various techniques, such as field-omission scanning electron microscopy (FESEM), high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM), Auger spectroscopy (AES), and Raman spectroscopy, shows that the structural properties of the CNTs, including their physical dimensions and crystal qualities, as well as the nature of vertical growth, are strongly dependent upon the application of substrate bias during CNT growth. It is for the first time observed that the provailing growth mechanism of CNTs, which is either due to tip-driven growth or based-on-catalyst growth, may be influenced by substrate biasing. It is also seen that negatively substrate-biasing would promote the vertical-alignment of the CNTs grown, compared to positively substrate-biasing. However, the CNTs grown under the positively-biased condition display a higher electron-emission capability than those grown under the negatively-biased condition or without any bias applied.