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극히 얕은 $N^+$-P 실리콘 접합에서의 어발런치 현상
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  • 극히 얕은 $N^+$-P 실리콘 접합에서의 어발런치 현상
  • Avalanche Phenomenon at The Ultra Shallow $N^+$-P Silicon Junctions
저자명
이정용,Lee. Jung-Yong
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2007년|6권 3호|pp.47-53 (7 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Ultra thin Si p-n junctions shallower than $300{AA}$ were fabricated and biased to the avalanche regime. The ultra thin junctions were fabricated to be parallel to the surface and exposed to the surface without $SiO_2$ layer. Those junctions emitted white light and electrons when junctions were biased in the avalanche breakdown regime. Therefore, we could observe the avalanche breakdown region visually. We could also observe the influence of electric field to the current flow visually by observing the white light which correspond to the avalanche breakdown region. Arrayed diodes emit light and electrons uniformly at the diode area. But, the reverse leakage current were larger than those of ordinary diodes, and the breakdown voltage were less than 10V.